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ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列低溫U8H-U

產(chǎn)品型號(hào)：U8H-U

產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac

產(chǎn)品簡(jiǎn)介： CRYO-U系列是使用2級(jí)GM制冷機(jī)的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。特征可與 CTI 的 CT-8 互換。高氫氣泵送能力。多臺(tái)操作（最多 3 臺(tái)）超高真空（10-8 Pa或更低）

產(chǎn)品介紹.

ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列低溫U8H-U

抽速(20°)	氮	升/秒	1,700
	氫		2,700
	氬氣		1,400
	水		4,000
極限壓力	帕(托)		10 ^-7 (10 ^-9 )
吞吐量	氬氣	帕?升/秒(托?升/秒)	1.2×10 ³ (8.9)
	氫		2.4×10 ² (1.8)
泵送能力	氬氣	帕?升(托?升)	1.0×10 ⁸（7.6×10 ⁵）
	氫		1.0×10 ⁶ (7.6×10 ³ )
冷卻時(shí)間	小值(Hz)		100/90(50/60)
安裝法蘭			UVG-200,6 ^B ANSI,UFC-253
壓縮機(jī)組			C10T,C10AT
低溫泵重量		公斤	20.8

*維護(hù)間隔：每16,000小時(shí)

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